[发明专利]一种多角度反射镜的测量方法有效
申请号: | 201911147380.0 | 申请日: | 2019-11-21 |
公开(公告)号: | CN110823139B | 公开(公告)日: | 2021-03-23 |
发明(设计)人: | 吴爱华;吴文龙;彭永民 | 申请(专利权)人: | 苏州沛斯仁光电科技有限公司 |
主分类号: | G01B11/30 | 分类号: | G01B11/30 |
代理公司: | 北京科家知识产权代理事务所(普通合伙) 11427 | 代理人: | 陈娟 |
地址: | 215200 江苏省苏州市吴江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种多角度反射镜的测量方法,包括步骤S1:获取清晰度与待测镜面表面平整度之间的对应关系;步骤S2:打开治具箱座上的镜面测量装置,调整所述镜面测量装置与所述待测镜面的距离;步骤S3:采用镜面测量装置中的显微镜对所述待测镜面进行放大,得到显微轮廓图像;步骤S4:对步骤S3中得到的图像信号去除干涉图像噪声,得到预处理后的图像;步骤S5:设定待测镜面的镜面模型;步骤S6:将步骤S5中测得的所述平整度与步骤S1中得到的待测镜面的平整度进行比较。其能够对反射镜的表面平整度进行多角度的测量,不需要操作人员进行目视判定镜面的平整度,提高多角度反射镜测量的精度。 | ||
搜索关键词: | 一种 角度 反射 测量方法 | ||
【主权项】:
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