[发明专利]非易失性存储器件

摘要

一种非易失性存储器件包括：基板，包括单元区域和外围电路区域；在单元区域上的堆叠结构，该堆叠结构包括彼此分隔并依次堆叠的多个栅极图案；半导体图案，穿过堆叠结构连接到基板；外围电路元件，在外围电路区域上；第一层间绝缘膜，在单元区域和外围电路区域上，该第一层间绝缘膜覆盖外围电路元件；以及下接触，穿过第一层间绝缘膜连接到外围电路元件，下接触的顶表面的高度低于或等于所述多个栅极图案中在第一层间绝缘膜上的最下面的栅极图案的底表面的高度。