[发明专利]一种MoON涂层及其制备方法和应用有效
| 申请号： | 201911148557.9 | 申请日： | 2019-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN111101102B | 公开（公告）日： | 2022-03-25 |
| 发明（设计）人： | 张腾飞;张银团;王启民;吴正涛 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/02;C23C14/06;C23C14/32;C23C14/54;H01G11/26 |
| 代理公司： | 广东广信君达律师事务所 44329 | 代理人： | 杨晓松 |
| 地址： | 510062 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明属于薄膜电极和表面防护涂层的技术领域，公开了一种MoON涂层及其制备方法和应用。所述MoON涂层采用脉冲磁控溅射沉积法制备，该层各元素的原子百分比含量：Mo：26～41at.％，O：24～64at.％，N：9～36at.％。本发明采用脉冲磁控溅射沉积法，通过结合了氮化钼和氧化钼的优点，制备的电化学性能优异的MoON涂层，具有膜基结合力好，电容值高，循环寿命长等特点，显著提高了过渡金属化合物薄膜电极的性能，而且可沉积在柔性基体上作为电极，使其在柔性储能器件上有广泛应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 moon 涂层 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
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