[发明专利]一种高通量表征成分梯度薄膜抗辐照性能的方法在审
| 申请号： | 201911148698.0 | 申请日： | 2019-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN110849937A | 公开（公告）日： | 2020-02-28 |
| 发明（设计）人： | 张勇;周士朝 | 申请（专利权）人： | 北京科技大学 |
| 主分类号： | G01N27/04 | 分类号： | G01N27/04;G01B7/06;G01N1/44 |
| 代理公司： | 北京方圆嘉禾知识产权代理有限公司 11385 | 代理人： | 韩晶 |
| 地址： | 100083*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高通量表征成分梯度薄膜抗辐照性能的方法，包括以下步骤：步骤1、将制备好的成分梯度薄膜放置于原子力显微镜中进行厚度的表征或者放置于薄膜电阻面扫设备中进行电阻值的测量；步骤2、将经一定辐照剂量曝光后的成分梯度薄膜放置于原子力显微镜中进行厚度的表征或者放置于薄膜电阻面扫设备中进行电阻值的测量；步骤3、将步骤2测量的厚度值减去步骤1测量的厚度值，得出厚度的变化即辐照肿胀程度，或者将步骤2测量的电阻值减去步骤1测量的电阻值，得出电阻值的变化即辐照肿胀程度；步骤4、厚度变化越大或者电阻值变化越大即辐照肿胀程度越严重，该成分抗辐照性能越差。本发明具有操作简便、高效快捷的特点，适合推广应用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 通量 表征 成分 梯度 薄膜 辐照 性能 方法 | ||
【主权项】：
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