[发明专利]一种改性胶体量子点薄膜的声表面波气体传感器及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201911149230.3 申请日: 2019-11-21
公开(公告)号: CN110845152B 公开(公告)日: 2022-03-08
发明(设计)人: 罗景庭;付琛;李慧;范平;郑壮豪;梁广兴 申请(专利权)人: 惠雨恩科技(深圳)有限公司
主分类号: C03C17/36 分类号: C03C17/36;G01N29/02;H03H9/64
代理公司: 深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268 代理人: 王永文
地址: 518000 广东省深圳市光明区凤凰街道*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了一种改性胶体量子点薄膜的声表面波气体传感器及其制备方法,该方法包括步骤:A、提供声表面波延迟线,在所述声表面波延迟线的延迟区域涂覆胶体量子点溶液,形成胶体量子点薄膜;B、采用离子束或等离子体辐照胶体量子点薄膜,即得改性胶体量子点薄膜的声表面波气体传感器。本发明通过采用离子束或等离子体辐照胶体量子点薄膜,可除掉胶体量子点薄膜中残余的长链油酸和油胺,提高了胶体量子点薄膜的孔隙率,增加胶体量子点薄膜的比表面积,从而提高胶体量子点与被测气体的接触面积,极大提高了胶体量子点声表面波气体传感器气敏响应,可实现亚ppm级别的高灵敏和快速检测,在智能传感器仿生嗅觉方面具有广阔的应用前景。
搜索关键词: 一种 改性 胶体 量子 薄膜 表面波 气体 传感器 及其 制备 方法
【主权项】:
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