[发明专利]多光谱显微自动聚焦装置及方法在审
申请号: | 201911149979.8 | 申请日: | 2019-11-21 |
公开(公告)号: | CN110727093A | 公开(公告)日: | 2020-01-24 |
发明(设计)人: | 易定容;叶一青;孔令华;朱星星;蒋威 | 申请(专利权)人: | 宁波五维检测科技有限公司 |
主分类号: | G02B21/24 | 分类号: | G02B21/24;G02B7/36 |
代理公司: | 51250 成都时誉知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 王杰 |
地址: | 315000 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明具体涉及一种多光谱显微自动聚焦装置及方法,该装置包括:复色光照明模块、纵向色散增强型光学成像模块、多光谱图像传感器,高精度载物台,图像分析及载物台控制系统,所述图像分析及载物台控制系统用于根据获得的离焦量值及离焦方向信号调节高精度载物台至光学成像系统的聚焦面,完成自动聚焦。该装置能实现一次成像即可快速获取样本离焦量及离焦方向,该方法能实现毫米量级大纵向测量范围的显微自动聚焦,相比传统显微自动聚焦方法,一方面,无需复杂的焦面搜索算法和昂贵的外部辅助设备,另一方面,提高了对焦效率和对焦精度。 | ||
搜索关键词: | 自动聚焦 离焦 显微 载物台控制系统 图像分析 载物台 对焦 光学成像模块 光学成像系统 外部辅助设备 自动聚焦装置 多光谱图像 方向信号 毫米量级 快速获取 色光照明 搜索算法 一次成像 纵向测量 多光谱 聚焦面 离焦量 增强型 传感器 焦面 色散 样本 | ||
【主权项】:
1.一种多光谱显微自动聚焦装置,其特征在于,包括复色光照明模块、纵向色散增强型光学成像模块、图像分析及载物台控制模块,/n所述复色光照明模块按照光路传播方向依次设置有:复色光源(1)、聚光镜(2)、均匀准直光透镜组(3)、半反半透分光镜(4)、带纵向色散的物镜(5),/n所述纵向色散增强型光学成像模块按照光路传播方向依次设置有:高精度载物台(6)、带纵向色散的物镜(5)、半反半透分光镜(4)、带纵向色散的管镜(7)、多光谱图像传感器(8);/n所述图像分析及载物台控制模块按照控制信号传递方向依次设置有多光谱图像传感器(8),图像分析及载物台控制系统(9),高精度载物台(6);/n所述复色光照明模块与纵向色散增强型光学成像模块共用所述半反半透分光镜(4)、带纵向色散的物镜(5);/n所述纵向色散增强型光学成像模块和所述图像分析及载物台控制模块共用所述多光谱图像传感器(8)和高精度载物台(6);/n所述图像分析及载物台控制系统(9)可根据每幅光谱灰度图像的清晰度值F
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