[发明专利]多光谱微观三维形貌检测装置及方法在审
| 申请号： | 201911151138.0 | 申请日： | 2019-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN110726380A | 公开（公告）日： | 2020-01-24 |
| 发明（设计）人： | 易定容;叶一青;孔令华;蒋威;朱星星 | 申请（专利权）人： | 宁波五维检测科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 51250 成都时誉知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 王杰 |
| 地址： | 315000 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及一种多光谱微观三维形貌检测装置及方法，该装置包括：复色光照明模块、纵向色散增强型光学成像模块，所述复色光照明模块按照光路传播方向依次设置有：复色光源、聚光镜、均匀准直光透镜组、半反半透分光镜、带纵向色散的物镜；所述纵向色散增强型光学成像模块按照光路传播方向依次设置有：纵向高度可调节样品台、带纵向色散的物镜、半反半透分光镜、带纵向色散的管镜、多光谱图像传感器、图像显示与分析模块。该方法能实现在无机械运动情况下，一次成像即可获取高横向分辨率、亚微米量级高纵向测量精度、毫米量级大纵向测量范围的微观三维形貌检测，兼具高测量效率和高测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 色散 半反半透分光镜 光学成像模块 传播方向 色光照明 依次设置 纵向测量 增强型 光路 物镜 机械运动 三维形貌检测装置 微观 高横向分辨率 三维形貌检测 多光谱图像 高度可调节 亚微米量级 测量效率 分析模块 复色光源 毫米量级 图像显示 一次成像 多光谱 聚光镜 透镜组 样品台 准直光 传感器 管镜 测量 | ||
【主权项】：
1.一种多光谱微观三维形貌检测装置，其特征在于：包括复色光照明模块、纵向色散增强型光学成像模块，/n所述复色光照明模块按照光路传播方向依次设置有：复色光源(1)、聚光镜(2)、均匀准直光透镜组(3)、半反半透分光镜(4)、带纵向色散的物镜(5)；/n所述纵向色散增强型光学成像模块按照光路传播方向依次设置有：纵向高度可调节样品台(6)、带纵向色散的物镜(5)、半反半透分光镜(4)、带纵向色散的管镜(7)、多光谱图像传感器(8)、图像显示与分析模块(9)；/n所述复色光照明模块与纵向色散增强型光学成像模块共用所述半反半透分光镜(4)和带纵向色散的物镜(5)。/n
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