[发明专利]一种基于电子束发射的淬灭校正单元在审
| 申请号： | 201911151642.0 | 申请日： | 2019-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN110703302A | 公开（公告）日： | 2020-01-17 |
| 发明（设计）人： | 梁金胜 | 申请（专利权）人： | 梁金胜 |
| 主分类号： | G01T1/204 | 分类号： | G01T1/204 |
| 代理公司： | 34145 宿州智海知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 陈燕 |
| 地址： | 234000 安徽省宿州市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种基于电子束发射的淬灭校正单元，基于电子束对标准样品淬灭程度的影响，结合TDCR值原理，突破了对待测样品CMP的依赖，从TDCR值作为过渡，把标准样品的DPM和待测样品的DPM进行联系，并通过拟合度选择更优的拟合曲线，计算方法简单，避免了对标准样品本身的操作，提高了测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 标准样品 淬灭 电子束 电子束发射 待测样品 拟合曲线 校正单元 测量 | ||
【主权项】：
1.一种基于电子束发射的淬灭校正单元，用于设置有电子束发射单元的液闪测量仪，其特征在于，包括：/n电子束发射控制单元，该单元用于控制电子束发射单元的打开和关闭，并能够对电子束加速电场的电压和电流进行调节；/n淬灭数据收集单元，该单元能够获取相关信号值并进行计算，在控制电子束发射单元关闭或打开时，获取样品的单位时间内的实际计数CPM并能够计算TDCR值；/n拟合校正单元，该单元用于对淬灭数据收集单元中的CPM值和TDCR值进行线性拟合得到拟合曲线，并能够计算拟合度；/n逻辑判断单元，该单元用于根据对待测样品实际测量的CPM值和TDCR值的拟合度进行判断，从标准样品拟合曲线中选择相应的拟合曲线；/n计算单元，该单元用于将待测样品未受电子束发射单元影响的TDCR值代入所述的相应的拟合曲线中得到校正后的CPM值，计算该CPM值与已知样品未受电子束发射单元影响的CPM值的比值，用已知样品的DPM值乘以该比值得到待测样品的DPM值，并将该值输出给用户。/n
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