[发明专利]一种基于镍基靶材的真空离子镀涂镀工艺在审

专利信息
申请号: 201911151703.3 申请日: 2019-11-22
公开(公告)号: CN110965028A 公开(公告)日: 2020-04-07
发明(设计)人: 吕晶晶;闫磊;魏明霞 申请(专利权)人: 中国航发沈阳黎明航空发动机有限责任公司
主分类号: C23C14/32 分类号: C23C14/32;C23C14/16;C22C19/05;B22C1/00;B22D25/04
代理公司: 沈阳东大知识产权代理有限公司 21109 代理人: 李珉
地址: 110043 *** 国省代码: 辽宁;21
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摘要: 一种基于镍基靶材的真空离子镀涂镀工艺,属于真空离子镀涂镀技术制备涂层技术领域,包括以下步骤:步骤1,镍基阴极靶材的制备:母合金熔炼、型壳模具工艺、铸造工艺、机械加工;步骤2,镍基阴极靶材的离子镀工艺;步骤2.1,来件检查;步骤2.2,光整处理;步骤2.3,湿吹砂;步骤2.4,强水流冲洗;步骤2.5,超声波清洗;步骤2.6,丙酮浸洗;步骤2.7,烘干基体零件;步骤2.8,清洗后检查;步骤2.9,涂镀前准备;步骤2.10,涂镀涂层;步骤2.11,扩散处理;步骤2.12,涂层质量检验。本发明基于镍基阴极靶材的真空离子镀涂镀工艺,提高了叶片表面的高温抗氧化、抗腐蚀性能,从而延长叶片的使用性能。
搜索关键词: 一种 基于 镍基靶材 真空 离子镀 工艺
【主权项】:
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