[发明专利]电极组件及高温真空炉有效
申请号: | 201911154350.2 | 申请日: | 2019-11-22 |
公开(公告)号: | CN111006515B | 公开(公告)日: | 2022-05-27 |
发明(设计)人: | 陈志兵;李旭刚 | 申请(专利权)人: | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
主分类号: | F27D7/06 | 分类号: | F27D7/06;F27D9/00;F27D11/10;H01L21/67;H05B7/12 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 彭瑞欣;王婷 |
地址: | 100176 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本申请实施例提供了一种电极组件及高温真空炉。电极组件设置于高温真空炉上,用于连接供电电缆及炉体内的加热器,包括:电极、冷却机构、密封机构及电极杆;电极位于炉体的外部,电极的上部与供电电缆连接,电极的底端与电极杆连接,电极杆穿过炉体的炉壁伸入炉体且与加热器连接;电极内具有轴向延伸设置的冷却腔,且冷却腔的开口位于电极的顶端;冷却机构设置于电极的顶端处且与电极连接,用于向冷却腔内通入冷却介质;密封机构用于密封电极与电极杆的连接处。本申请提供的电极组件不仅结构简单、紧凑,而且冷却机构与电极之间采用中通冷却方式,使得电极传热热阻较小,能更加快速的将电极的热量带走,从而提高了冷却效率。 | ||
搜索关键词: | 电极 组件 高温 真空炉 | ||
【主权项】:
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