[发明专利]一种陶瓷气密封装器件及封装方法在审
申请号: | 201911155711.5 | 申请日: | 2019-11-22 |
公开(公告)号: | CN110943053A | 公开(公告)日: | 2020-03-31 |
发明(设计)人: | 李仕俊;张延青;王磊;赵瑞华;高飞龙;周伟;魏爱新;宋银矿;罗杰;单亮;滑国红 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第十三研究所 |
主分类号: | H01L23/31 | 分类号: | H01L23/31;H01L23/15;H01L23/367 |
代理公司: | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人: | 付晓娣 |
地址: | 050051 *** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 本发明公开了一种陶瓷气密封装器件及封装方法,陶瓷气密封装器件包括:陶瓷基板,设有贯穿所述陶瓷基板的上表面和下表面的通孔,陶瓷基板的通孔内部填充金属,通孔内的金属记为金属柱;芯片,设置在所述陶瓷基板上,芯片的焊盘通过键合线与所述陶瓷基板上的金属柱连接;管帽,设置在陶瓷基板上,管帽与陶瓷基板形成容纳芯片的气密结构;耦合结构,设置在管帽的背面,且位于需要耦合的芯片的上方;散热结构,设置在所述管帽的正面。本发明通过在管帽的正面设置散热结构,提高了散热性,提高了陶瓷封装器件性能;同时在管帽的背面,芯片的上方设置耦合结构,提高了芯片的耦合性,进一步的提高了陶瓷封装器件的性能。 | ||
搜索关键词: | 一种 陶瓷 气密 封装 器件 方法 | ||
【主权项】:
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