[发明专利]一种陶瓷气密封装器件及封装方法在审

专利信息
申请号: 201911155711.5 申请日: 2019-11-22
公开(公告)号: CN110943053A 公开(公告)日: 2020-03-31
发明(设计)人: 李仕俊;张延青;王磊;赵瑞华;高飞龙;周伟;魏爱新;宋银矿;罗杰;单亮;滑国红 申请(专利权)人: 中国电子科技集团公司第十三研究所
主分类号: H01L23/31 分类号: H01L23/31;H01L23/15;H01L23/367
代理公司: 石家庄国为知识产权事务所 13120 代理人: 付晓娣
地址: 050051 *** 国省代码: 河北;13
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摘要: 发明公开了一种陶瓷气密封装器件及封装方法,陶瓷气密封装器件包括:陶瓷基板,设有贯穿所述陶瓷基板的上表面和下表面的通孔,陶瓷基板的通孔内部填充金属,通孔内的金属记为金属柱;芯片,设置在所述陶瓷基板上,芯片的焊盘通过键合线与所述陶瓷基板上的金属柱连接;管帽,设置在陶瓷基板上,管帽与陶瓷基板形成容纳芯片的气密结构;耦合结构,设置在管帽的背面,且位于需要耦合的芯片的上方;散热结构,设置在所述管帽的正面。本发明通过在管帽的正面设置散热结构,提高了散热性,提高了陶瓷封装器件性能;同时在管帽的背面,芯片的上方设置耦合结构,提高了芯片的耦合性,进一步的提高了陶瓷封装器件的性能。
搜索关键词: 一种 陶瓷 气密 封装 器件 方法
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