[发明专利]一种光学自由曲面全频段像差检测系统及检测方法有效
| 申请号： | 201911155752.4 | 申请日： | 2019-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN110726381B | 公开（公告）日： | 2021-10-15 |
| 发明（设计）人： | 马鑫雪;王建立;刘欣悦;王斌 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 长春众邦菁华知识产权代理有限公司 22214 | 代理人： | 朱红玲 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 一种光学自由曲面全频段像差检测系统及检测方法，涉及光学自由曲面检测领域，解决现有光学自由曲面检测中动态范围与检测精度不可兼得的矛盾和光学自由曲面的检测难点。包括中高频段像差检测系统和低频像差检测系统；所述中高频段像差检测系统包括待测镜、发光屏和CCD相机；CCD相机包括焦平面、相机透镜和针孔；低频像差检测系统包括成像透镜、分光棱镜、可调节光阑、光纤激光器、会聚透镜、成像相机和电动平移台；本发明采用了基于计算机辅助反向哈特曼测量方法和相位恢复方法，具有测量精度高，测量斜率的动态范围大，而且空间分辨率高，可以测量干涉仪和哈特曼检测无法测量的大数值斜率问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光学 自由 曲面 频段 检测 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种光学自由曲面全频段像差检测系统，包括中高频段像差检测系统(A1)和低频像差检测系统(A2)；其特征是：所述中高频段像差检测系统(A1)包括待测镜(Q1)、发光屏(Q2)和CCD相机(Q3)；/n所述CCD相机(Q3)包括焦平面(Q6)、相机透镜(Q5)和针孔(Q4)；/n所述低频像差检测系统(A2)包括成像透镜(Q7)、分光棱镜(Q8)、可调节光阑(Q9)、光纤激光器(Q10)、会聚透镜(Q11)、成像相机(Q12)和电动平移台(Q13)；/n所述发光屏(Q2)上显示的是相移条纹图，经待测镜(Q1反射后经CCD相机(Q3)的针孔(Q4)，再经相机透镜(Q5)后由焦平面(Q6)接收，所述CCD相机(Q3)获得的图像由计算机(Q14)处理，获得待测镜(Q1)中高频面形信息；/n所述光纤激光器(Q10)发出的光经过可调节光阑(Q9)入射到分光棱镜(Q8)，经所述分光棱镜(Q8)透射的光束经成像透镜(Q7)后汇聚到待测镜(Q1)后反射，反射的光束再次经分光棱镜(Q8)反射，反射光束经会聚透镜(Q11)会聚在成像相机(Q12)上，用于实现基于PR的波前信息测量；/n所述成像相机(Q12)置于电动平移台(Q13)上，使成像相机(Q12)沿光轴方向移动并进行前后位置的调整，获得不同离焦量的图像，并由计算机(Q14)处理，获得待测镜(Q1)低频面形信息。/n
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