[发明专利]一种等离子工艺设备有效
| 申请号： | 201911156301.2 | 申请日： | 2019-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN111048392B | 公开（公告）日： | 2022-09-16 |
| 发明（设计）人： | 赵晓丽 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;姜春咸 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种等离子工艺设备，该等离子工艺设备包括电磁波转换组件和工艺腔，电磁波转换组件包括天线板，天线板用于接收电磁波，以将接收到的电磁波以电磁场的形式馈入工艺腔中，天线板包括中央区域和环绕其设置的边缘区域，天线板的边缘区域形成有至少一个边缘缝隙。在本发明中，天线板边缘形成的边缘缝隙能够产生呈边缘位置的场强高、中央场位置的场强低的边缘电磁场，与天线板中央的缝隙产生的电磁场互补，在工艺腔中得到均匀分布的等离子体，从而提高工艺腔中等离子体分布的均匀性，并且最终得到的电磁场相当于两种缝隙天线所产生的电磁场的叠加，因此在环境参数改变时，该电磁场的场强更稳定，能够提高等离子工艺的均匀性和可重复性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 等离子 工艺设备 | ||
【主权项】：
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