[发明专利]基于半监督深度学习的芯片管脚缺失检测方法有效

专利信息
申请号: 201911157667.1 申请日: 2019-11-22
公开(公告)号: CN110930390B 公开(公告)日: 2020-09-22
发明(设计)人: 窦宝恒;李坤彬 申请(专利权)人: 深圳市海芯微迅半导体有限公司
主分类号: G06T7/00 分类号: G06T7/00;G06N3/04;G06N3/08;G06T7/13;G06T7/136;G06T7/187
代理公司: 杭州知管通专利代理事务所(普通合伙) 33288 代理人: 黄华
地址: 518116 广东省深圳市龙岗区宝龙街*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了一种基于半监督深度学习的芯片管脚缺失检测方法。包括:对芯片图像进行预处理,得到增强的芯片灰度图像;对增强的芯片灰度图像进行边缘检测、阈值化、形态学滤波处理,得到芯片轮廓图像、芯片封装图像;对芯片轮廓图像、芯片封装图像进行连通域检测,判断得出芯片具有管脚的侧面;根据芯片具有管脚的侧面判断结果生成封装遮罩图像,与芯片轮廓图像点对点相乘,得到芯片管脚图像;对芯片管脚图像进行管脚缺失判断并标示;根据标示结果训练语义分割深度卷积神经网络;利用训练好的语义分割深度卷积神经网络对待检测芯片图像进行管脚缺失检测。利用本发明,可以在芯片质量检测场景中,实现芯片管脚缺失检测,提高检测效率、精度。
搜索关键词: 基于 监督 深度 学习 芯片 管脚 缺失 检测 方法
【主权项】:
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