[发明专利]结合全反射角定位的非球面参数误差干涉测量方法及系统有效
| 申请号： | 201911159776.7 | 申请日： | 2019-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN110686618B | 公开（公告）日： | 2020-09-15 |
| 发明（设计）人： | 郝群;胡摇;陶鑫;宁悦文 | 申请（专利权）人： | 北京理工大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01B11/255;G01B11/02 |
| 代理公司： | 北京市中闻律师事务所 11388 | 代理人： | 冯梦洪 |
| 地址： | 100081 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 结合全反射角定位的非球面参数误差干涉测量方法及系统，通过结合全反射角定位系统建立非球面参数误差干涉测量系统，不需要搭建复杂的激光差动共焦系统，避免了激光差动共焦系统装调误差对测量精度的影响，进而提高测量非球面的面型参数误差的测量精度，且能够实现非接触、全口径、精度高的测量，具有结构简单、装调方便的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 结合 反射角 定位 球面 参数 误差 干涉 测量方法 系统 | ||
【主权项】：
1.结合全反射角定位的非球面参数误差干涉测量方法，其特征在于：其包括以下步骤：/n(1)获取被测非球面名义参数，利用光学设计软件设计部分补偿透镜P，得到设计后的部分补偿透镜P的设计参数，建立非球面参数误差干涉测量系统的干涉测量光路，得到名义最佳补偿距离d
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