[发明专利]结合液体透镜共焦定位的非球面误差干涉测量方法及系统有效
申请号: | 201911163939.9 | 申请日: | 2019-11-22 |
公开(公告)号: | CN110966958B | 公开(公告)日: | 2020-11-13 |
发明(设计)人: | 郝群;赵维谦;胡摇;陶鑫;李腾飞 | 申请(专利权)人: | 北京理工大学 |
主分类号: | G01B11/24 | 分类号: | G01B11/24;G01B9/02 |
代理公司: | 北京市中闻律师事务所 11388 | 代理人: | 冯梦洪 |
地址: | 100081 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 结合液体透镜共焦定位的非球面误差干涉测量方法及系统,通过将液体透镜L和部分补偿透镜P结合作为共焦透镜,建立结合液体透镜共焦定位的非球面参数误差干涉测量系统,不需要移动液体透镜,避免了在非球面参数误差干涉测量方法中需要通过移动消球差透镜组来确定被测非球面的初始位置,从而能够去除导轨所引入的误差,更加准确地确定被测面和部分补偿透镜的相对位置,进而提高测量非球面的面型参数误差的测量精度,且能够实现非接触、全口径、速度快、精度高的测量,具有无需扫描系统、结构简单的优点。 | ||
搜索关键词: | 结合 液体 透镜 定位 球面 误差 干涉 测量方法 系统 | ||
【主权项】:
暂无信息
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