[发明专利]一种中波红外增透膜设计及制备方法在审
申请号: | 201911165985.2 | 申请日: | 2019-11-25 |
公开(公告)号: | CN110794490A | 公开(公告)日: | 2020-02-14 |
发明(设计)人: | 郭猛;贺洪波;易葵;邵淑英;朱美萍 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
主分类号: | G02B1/115 | 分类号: | G02B1/115;C23C14/06;C23C14/08;C23C14/30 |
代理公司: | 31317 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人: | 张宁展 |
地址: | 201800 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种中波红外增透膜设计及制备方法,包括步骤:膜系设计,基片清洗,基片加热,膜系镀制。基片材料为折射率为1~5的红外窗口玻璃,高折射率镀膜材料的折射率为1.5~3,低折射率镀膜材料的折射率为1~1.5,使用离子辅助沉积及合适的烘烤温度等特定的工艺条件,采用双面镀膜方式可实现5mm厚的FGa玻璃在3.7um~5um中红外波段具有良好的透过效果,平均透过率>92%。该发明可提高中红外窗口的光学效率,在红外探测方便具有明显优势。 | ||
搜索关键词: | 折射率 镀膜材料 红外窗口 膜系 离子辅助沉积 红外增透膜 中红外波段 玻璃 低折射率 高折射率 工艺条件 光学效率 红外探测 基片材料 基片清洗 双面镀膜 透过率 烘烤 镀制 制备 加热 | ||
【主权项】:
1.一种中波红外增透膜设计及制备方法,其特征在于,包括如下步骤:/n(1)膜系设计:/n两面膜系结构均为Sub/(a
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