[发明专利]聚氨酯研磨垫及其制造方法、及化学机械研磨装置在审
| 申请号： | 201911166937.5 | 申请日： | 2019-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN111318956A | 公开（公告）日： | 2020-06-23 |
| 发明（设计）人： | 金光复 | 申请（专利权）人： | 夏泰鑫半导体（青岛）有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/20 | 分类号： | B24B37/20;B24B37/24 |
| 代理公司： | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人： | 彭辉剑;龚慧惠 |
| 地址： | 266000 山东省青岛市黄岛区*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开提供了一种由一组成制成的聚氨酯研磨垫。该组成包括5～15wt％的MBCA、25～45wt％的异氰酸酯、45～55wt％的多元醇以及1～5wt％的导电添加剂。导电添加剂选自包括炭黑、碳纤维以及铝颗粒或任意几者的组分的组合。 | ||
| 搜索关键词： | 聚氨酯 研磨 及其 制造 方法 化学 机械 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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