[发明专利]一种晶圆夹持装置和等离子体处理设备

摘要

本申请实施例公开了一种晶圆夹持装置，包括静电吸盘和接地装置，静电吸盘内部可以形成有静电电极板，静电电极板可以连接直流电源，接地装置可以包括互连的金属接地端和顶部部分，金属接地端用于连接地线，在静电吸盘上固定有晶圆，晶圆上方形成有等离子体时，顶部部分与等离子体接触，实现晶圆的接地，而顶部部分会使静电吸盘中的直流信号接地，且阻断射频信号在等离子体与地线之间的传输，这样可以为直流信号提供接地端，即为晶圆的夹持提供接地端，而射频信号不会通过接地装置接地，将射频回路和直流回路分隔开，提高晶圆夹持的可靠性。