[发明专利]一种深紫外LED电离源及其工作方法有效
| 申请号： | 201911170607.3 | 申请日： | 2019-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN110880446B | 公开（公告）日： | 2022-06-03 |
| 发明（设计）人： | 陈池来;胡俊;金娇;张瑞 | 申请（专利权）人： | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 主分类号： | H01J49/16 | 分类号： | H01J49/16;H01J49/00 |
| 代理公司： | 合肥国和专利代理事务所(普通合伙) 34131 | 代理人： | 张祥骞 |
| 地址： | 230031 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种深紫外LED电离源及其工作方法。该电离源包括深紫外LED和电离室。电离室包括绝缘外壳、自上向下依次设置在绝缘外壳内的牵引聚焦电极组和总量检测环以及安装在绝缘外壳底部的离子出口。牵引聚焦电极组包括自上向下依次设置在深紫外LED与离子出口之间的若干个牵引聚焦电极，相邻牵引聚焦电极间设有固定到绝缘外壳内壁上的绝缘垫圈。总量检测环包括绝缘支撑环和对应设置在绝缘支撑环内壁上的离子收集电极与离子推斥电极。深紫外LED安装在绝缘外壳顶部。绝缘外壳侧壁上自上向下依次贯穿安装有进样管和抽气气管。本发明能够解决现有技术中存在的不足，具有电离源体积小、驱动电路简单、使用安全、电离效率高、定量过程准确等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 深紫 led 电离 及其 工作 方法 | ||
【主权项】：
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