[发明专利]一种基于光热敏折变玻璃的波导光栅耦合器及其制备方法有效
| 申请号： | 201911172206.1 | 申请日： | 2019-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN110824615B | 公开（公告）日： | 2021-04-27 |
| 发明（设计）人： | 刘春晓;陈静怡 | 申请（专利权）人： | 南京邮电大学 |
| 主分类号： | G02B6/124 | 分类号： | G02B6/124;G02B6/13;G02B6/134 |
| 代理公司： | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人： | 范丹丹 |
| 地址： | 210046 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明揭示了一种基于光热敏折变玻璃的波导光栅耦合器及其制备方法，该波导光栅耦合器，包括衬底材料、脊型光波导结构和光栅，所述衬底材料为光热敏折变玻璃，脊型光波导结构通过离子注入和飞秒激光烧蚀技术制备于衬底材料表面，光栅通过飞秒激光刻写技术集成制备于脊型光波导结构表面。本发明只需要运用离子注入和飞秒激光加工技术就可以实现脊型波导光栅耦合器的制备。飞秒激光加工技术既可以完成脊型波导的制备又能刻写光栅，一举两得，制备流程更加简单便捷。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 热敏 折变 玻璃 波导 光栅 耦合器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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