[发明专利]基于达曼波带片的微小凹槽三维形貌测量装置及工作方法在审
| 申请号： | 201911172983.6 | 申请日： | 2019-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN110926372A | 公开（公告）日： | 2020-03-27 |
| 发明（设计）人： | 叶宗浩;周常河;王津;金戈;李俊杰 | 申请（专利权）人： | 暨南大学 |
| 主分类号： | G01B11/25 | 分类号： | G01B11/25 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 梁睦宇 |
| 地址： | 510632 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了基于达曼波带片的微小凹槽三维形貌测量装置，包括：扩束准直光路模块、达曼波带片模块、待测微槽、傅里叶透镜和图像搜集模块，扩束准直光路模块产生平行光经过达曼波带片模块产生轴向多个等强度的光斑，光斑经过待测微槽产生反射光，反射光通过傅里叶透镜汇聚到图像收集模块进行采集处理。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 波带片 微小 凹槽 三维 形貌 测量 装置 工作 方法 | ||
【主权项】：
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