[发明专利]一种PECVD设备的氮气辅助加热方法及装置

摘要

本发明公开了一种PECVD设备的氮气辅助加热方法，包括：S01、在往工艺腔体内通入氮气前，检测工艺腔体内的温度；S02、根据工艺腔体内的温度值确定是否对氮气进行加热；在温度未达到设定值时，对氮气进行加热后再通入至工艺腔体内，以提高工艺腔体内的温度。本发明还公开了一种氮气辅助加热装置，包括氮气加热器和主管道，主管道上设置有主开关和直通开关，氮气加热器的进气口与直通开关的输入端相连，氮气加热器的出气口与直通开关的输出端相连；氮气加热器的出气口设置有氮气温度检测件，氮气加热器根据工艺腔体内温度与氮气温度检测件检测的氮气温度之间的偏差调整加热功率。本发明的方法及装置均具有加热效率高等优点。

主权项

1.一种PECVD设备的氮气辅助加热方法，其特征在于，包括以下步骤：/nS01、在PECVD设备淀积工艺前的回温时，在往PECVD设备的工艺腔体(3)内通入氮气前，检测所述工艺腔体(3)内的温度；/nS02、根据步骤S01检测到的工艺腔体(3)内的温度值确定是否对氮气进行加热；在工艺腔体(3)内的温度未达到设定值时，对氮气进行加热后，再通入至工艺腔体(3)内，以提高工艺腔体(3)内的温度。/n