[发明专利]光配向装置、双台光配向装置、光配向方法及光配向系统有效
| 申请号： | 201911175712.6 | 申请日： | 2019-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN112946957B | 公开（公告）日： | 2023-06-02 |
| 发明（设计）人： | 李会丽;张俊;唐世弋 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/1337 | 分类号： | G02F1/1337;G02B5/30;H10K50/85 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种光配向装置、双台光配向装置、光配向方法及光配向系统，通过对按设定的角度对承载卷带的载台进行旋转后，而后再通过位置调整单元对卷带的位置进行调整。即，在光配向光线系统不动的情况下，通过载台旋转和移动，以及调整载台的附属机构来达到卷带的任意角度的精确配向，解决了在对卷料进行任意角度的配向调整时会造成光配向光学系统组件损伤的问题。进一步的，所述双台光配向装置及光配向方法，两个光配向装置共用一光配向光学系统，配合工作，交错进行光配向和角度旋转/对位调整的过程，在相同的时间内，每个载台上的卷料可以被照射次数翻倍，从而可以节省制程时间，提高产能。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 双台光配 方法 系统 | ||
【主权项】：
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