[发明专利]一种叠层结构微波介质谐振器

摘要

本发明公开了一种叠层结构微波介质谐振器，具有上中下三层结构，其中上下两层分别为ZnTi0.97Ge0.03Nb2O8，中间层为TiO2。先将ZnO、TiO2、GeO2、Nb2O5按化学计量式ZnTi0.97Ge0.03Nb2O8配料，与TiO2分别球磨，再经烘干、过筛，将混合粉料于950℃煅烧，合成ZnTi0.97Ge0.03Nb2O8粉料，再将粉料与TiO2分别造粒，称取1～4质量份数的TiO2作中间层，96～99质量份数ZnTi0.97Ge0.03Nb2O8粉料并平均分成两份作为上下层，顺序加入模具中压制成坯体，坯体于1120～1140℃烧结，制成叠层结构微波介质谐振器。本发明介电常数εr为36.9～43.0，品质因数Qf值为50199GHz～57040GHz，谐振频率温度系数τf为‑54.40～+1.99ppm/℃。制备工艺简单，提升介电常数Qf值损失小，谐振频率温度系数灵活可调。