[发明专利]一种空间环境下的MEMS红外辐射面均匀性提升系统有效
| 申请号： | 201911179919.0 | 申请日： | 2019-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN111006773B | 公开（公告）日： | 2022-02-11 |
| 发明（设计）人： | 张玉国;孙红胜;张鑫;王加朋;吴柯萱;李世伟;杨旺林;宋春晖;邱超;吴红霞;孙广尉;张林军;郭靖 | 申请（专利权）人： | 北京振兴计量测试研究所 |
| 主分类号： | G01J5/52 | 分类号： | G01J5/52;B81C1/00;B81B7/02 |
| 代理公司： | 北京天达知识产权代理事务所(普通合伙) 11386 | 代理人： | 程虹 |
| 地址： | 100074 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种空间环境下的MEMS红外辐射面均匀性提升系统，属于红外辐射定标技术领域，解决了现有红外辐射面的温度均匀性差的问题。本发明的空间环境下的MEMS红外辐射面均匀性提升系统，包括热匀化导热层、加热层和分离式电极组，热匀化导热层位于加热层和MEMS红外辐射面之间；分离式电极组为加热层供电，使加热层发热；加热层对MEMS红外辐射面进行加热；热匀化导热层对MEMS红外辐射面起到热匀化作用，提升MEMS红外辐射面温度的均匀性。本发明能够大幅度提升空间环境下MEMS红外辐射面的均匀性，温度分布均匀性优于3K，确保其满足红外载荷辐射定标的使用要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 空间 环境 mems 红外 辐射 均匀 提升 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京振兴计量测试研究所，未经北京振兴计量测试研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201911179919.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
