[发明专利]测量垂直磁场的传感器及其方法在审
| 申请号： | 201911180632.X | 申请日： | 2019-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN110927636A | 公开（公告）日： | 2020-03-27 |
| 发明（设计）人： | 郝润润;朱大鹏;陈伟斌;李迎港;赵巍胜;冷群文 | 申请（专利权）人： | 北京航空航天大学青岛研究院 |
| 主分类号： | G01R33/09 | 分类号： | G01R33/09;G01R33/07 |
| 代理公司： | 青岛中天汇智知识产权代理有限公司 37241 | 代理人： | 陈磊 |
| 地址： | 266000 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提供一种测量垂直磁场的磁传感器，其基本结构为自旋产生层和铁磁金属层。其中，铁磁金属层具有垂直磁化的特性，基于自旋霍耳或Rashba效应自旋轨道矩产生的面内等效磁场可实现磁矩偏置45°，通过检测自旋霍耳或Rashba‑Edelstein磁电阻效应引起的器件电阻变化，可测量垂直磁场或磁场垂直分量。数个磁传感器单元可组成惠斯通电桥结构。该磁传感器可避免复杂磁偏置工艺，同时具有高线性度、高灵敏度和高动态范围特性。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 垂直 磁场 传感器 及其 方法 | ||
【主权项】：
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