[发明专利]含氯尾气氦气提纯系统在审
| 申请号： | 201911180830.6 | 申请日： | 2019-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN112850668A | 公开（公告）日： | 2021-05-28 |
| 发明（设计）人： | 杨森;刘亭婷;沈一春;王亚军;吴国其 | 申请（专利权）人： | 中天科技精密材料有限公司;江苏中天科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C01B23/00 | 分类号： | C01B23/00;B01D53/04;B01D53/22;B01D53/26;B01D53/28 |
| 代理公司： | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人： | 陈海云;许春晓 |
| 地址： | 226009 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供的一种含氯尾气氦气提纯系统，依次包括除氯干燥模块、膜分离纯化模块、吸附纯化模块及回收供气单元，其中每一模块的出气端依次连接有检测装置和多通阀；当检测结果不符合预设指标时，含氯尾气自每一模块的出气端经多通阀导入至当前模块的进气端以再次进行同级净化；当检测结果符合预设指标，含氯尾气自每一模块的出气端经多通阀导入后一模块的进气端以进行下一级纯化，直至通入回收供气单元进入待使用阶段。本系统较高效率的处理回收利用氦气，可大大节约采购氦气的成本，也使氦气得到充分的利用。 | ||
| 搜索关键词： | 尾气 氦气 提纯 系统 | ||
【主权项】：
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