[发明专利]一种用于磁悬浮导轨悬浮间隙测量的光学方法及装置有效
| 申请号： | 201911180837.8 | 申请日： | 2019-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN110749287B | 公开（公告）日： | 2021-05-07 |
| 发明（设计）人： | 杨晓峰;苏新艺;徐云浪;张佩瑾;张志平;吴立伟 | 申请（专利权）人： | 复旦大学 |
| 主分类号： | G01B11/14 | 分类号： | G01B11/14;G01B11/26 |
| 代理公司： | 上海上谷知识产权代理有限公司 31342 | 代理人： | 蔡继清;陈婷婷 |
| 地址： | 200433 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于磁悬浮导轨悬浮间隙测量的光学方法及装置，其中，该方法包括以下步骤：将四个角锥棱镜安装在磁悬浮导轨动子上，四个角锥棱镜的顶点位于同一水平面；将四路激光沿磁悬浮导轨动子的长行程直线运动方向分别入射到四个角锥棱镜；将四个PSD传感器分别垂直于各路激光布置，用于接收从所述四个角锥棱镜反射回来的发射光，通过PSD传感器测出反射光线的位置，计算得到磁悬浮导轨动子的当前位置信息；获取磁悬浮导轨动子的原始位置信息；根据磁悬浮导轨动子的当前位置信息和原始位置信息计算得到磁悬浮导轨动子的间隙。本发明不受磁场干扰，测量精度更高，能满足长行程导轨的测量要求，并且价格相对较低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 磁悬浮 导轨 悬浮 间隙 测量 光学 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于磁悬浮导轨悬浮间隙测量的光学方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：/n将四个角锥棱镜安装在磁悬浮导轨动子上，所述四个角锥棱镜的顶点位于同一水平面；/n将四路激光沿磁悬浮导轨动子的长行程直线运动方向分别入射到所述四个角锥棱镜；/n将四个PSD传感器分别垂直于各路激光布置，用于接收从所述四个角锥棱镜反射回来的发射光，通过PSD传感器测出反射光线的位置，计算得到磁悬浮导轨动子的当前位置信息；/n获取磁悬浮导轨动子的原始位置信息；/n根据磁悬浮导轨动子的当前位置信息和原始位置信息计算得到磁悬浮导轨动子的间隙。/n
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