[发明专利]一种位移传感器有效
申请号: | 201911180905.0 | 申请日: | 2019-11-27 |
公开(公告)号: | CN110849255B | 公开(公告)日: | 2021-08-20 |
发明(设计)人: | 李青;关翔;邹银才;商晋;边星;伍继浩 | 申请(专利权)人: | 中国科学院理化技术研究所 |
主分类号: | G01B7/02 | 分类号: | G01B7/02 |
代理公司: | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人: | 曹卫良 |
地址: | 100190 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供一种位移传感器,其包括传感器探头和电路模块,电路模块与传感器探头电连接且相互分隔设置,二者分别在室温环境和液氮温区环境下工作,所述传感器探头由基于PCB板的线圈组件构成,所述线圈组件包括一组位于中心的激励线圈及分布在激励线圈四周的特征对称且差动工作的感应线圈组。本发明提出的位移传感器可以在液氮温区进行转轴径向微小位移的测量,突破了现有传感器的温度使用的限制。本发明提出的位移传感器原理简单,结构紧凑,易于工业量产,便于结合待测系统进行制造和安装。 | ||
搜索关键词: | 一种 位移 传感器 | ||
【主权项】:
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