[发明专利]一种用于压电薄膜的高电场热极化装置及其极化方法在审

专利信息
申请号: 201911181517.4 申请日: 2019-11-27
公开(公告)号: CN110729397A 公开(公告)日: 2020-01-24
发明(设计)人: 覃双;张旭;赵锋;钟斌 申请(专利权)人: 中国工程物理研究院流体物理研究所
主分类号: H01L41/257 分类号: H01L41/257
代理公司: 51288 绵阳山之南专利代理事务所(普通合伙) 代理人: 沈强
地址: 621000 *** 国省代码: 四川;51
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 发明提供了一种用于压电薄膜的高电场热极化装置及其极化方法,该方案包括有样品盒、置物槽、上夹持机构、下夹持机构、上电极、下电极、静态压强施加机构、高压源和数据采集单元;该方案能够对微米级或纳米级薄膜聚合物压电材料(压电薄膜)在施加高电场的过程中,防止薄膜结构形变,提高极化区域面积精度,为薄膜类材料的高精确电场极化提供技术保障,并可用于薄膜样品材料在压力、电场共同作用下的极化特性研究。
搜索关键词: 压电薄膜 高电场 聚合物压电材料 数据采集单元 薄膜类材料 纳米级薄膜 电场 薄膜结构 薄膜样品 电场极化 极化区域 极化特性 技术保障 静态压强 施加机构 高压源 热极化 微米级 下电极 样品盒 置物槽 电极 极化 形变 可用 上夹 下夹 施加 研究
【主权项】:
1.一种用于压电薄膜的高电场热极化装置,其特征是:包括有样品盒、置物槽、上夹持机构、下夹持机构、上电极、下电极、静态压强施加机构、高压源和数据采集单元;所述置物槽放置在样品盒内部;所述下夹持机构设置在置物槽上;所述上夹持机构对应设置在下夹持机构的上方;所述静态压强施加机构设置在上夹持机构的上方;所述上夹持机构和下夹持机构之间放置压电薄膜;所述上电极设置在上夹持机构的下端面,且通过导线从上夹持机构内部引出与高压源电连接;所述下电极设置在下夹持机构的上端面,且通过导线从下夹持机构的内部引出与数据采集单元电连接;所述上电极和下电极的位置相互对应。/n
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