[发明专利]基于氧化物/金纳米棒/硅的可见-短波红外光探测基底的制备方法

摘要

本发明涉及一种基于氧化层/金纳米棒/硅的可见‑短波红外光探测基底的制备方法，通过一种银诱导无种法合成具有不同长径比的小尺寸金纳米棒；将其负载到硅片表面作为光吸收层，经退火处理获得结合更紧密金纳米棒/硅片基底；在金纳米棒/硅复合基底表面沉积不同的氧化物薄膜，构建成具有良好光电响应的异质结结构，最终得到氧化物/金纳米棒/硅基底新型可见‑短波红外光探测基底。该复合基底能够对可见‑短波红外光表现出极高的探测灵敏度。与现有技术相比，本发明获得的探测基底具有光谱响应范围宽、响应灵敏度高、响应波段可调、抗干扰能力强等优点。