[发明专利]一种基于PVD的格栅式薄膜传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 201911182511.9 | 申请日： | 2019-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN110849942A | 公开（公告）日： | 2020-02-28 |
| 发明（设计）人： | 崔荣洪;宋雨键;何宇廷;刘凯;樊祥洪;冯宇 | 申请（专利权）人： | 中国人民解放军空军工程大学 |
| 主分类号： | G01N27/20 | 分类号： | G01N27/20 |
| 代理公司： | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人： | 曾庆喜 |
| 地址： | 710051 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于PVD的格栅式薄膜传感器，格栅式薄膜传感器阵列覆盖整个检测区域，包括有两根导电棒，两根导电棒之间设置有若干根并联的导电格栅通道，其中一根导电棒的尾部连接有温度补偿通道；导电棒、导电格栅通道及温度补偿通道结构均相同，均为具有层状结构的薄膜传感器。本传感器通过减少传感元与导线的焊接点可以显著增强该传感元的稳定性。还提供了上述传感器的制备方法，包括，步骤1：制备绝缘层；步骤2：制备传感层；步骤3：制备保护层。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 pvd 格栅 薄膜 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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