[发明专利]一种硅片插片机用分离装置及其分离方法在审

专利信息
申请号: 201911183907.5 申请日: 2019-11-27
公开(公告)号: CN112850161A 公开(公告)日: 2021-05-28
发明(设计)人: 孙小杰;郭俊文;黄磊;王冬雪;王大伟;赵越;危晨 申请(专利权)人: 内蒙古中环光伏材料有限公司
主分类号: B65G49/07 分类号: B65G49/07
代理公司: 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 代理人: 栾志超
地址: 010070 内蒙古自*** 国省代码: 内蒙古;15
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摘要: 发明提供一种硅片插片机用分离装置及其分离方法,包括用弹夹机构、喷射机构以及负压机构,弹夹机构为单侧开口的槽型结构,弹夹机构底面与硅片平行设置;喷射机构置于弹夹机构开口一侧且与硅片垂直设置;负压机构置于弹夹机构正上方;其中,喷射机构包括对位设置的喷射柱,在喷射柱上设有若干喷水孔,从两侧喷水孔喷出的水均朝向硅片移动方向的中间轴线设置,喷水孔相对于硅片上端面倾斜向下设置。本发明分离装置,解决了现有技术中插片分离时容易出现叠片,导致硅片崩损率高的技术问题,结构简单,分离效率高且可靠性好,可使大尺寸硅片均匀分离,保证硅片品质,提高硅片成品率。
搜索关键词: 一种 硅片 插片机用 分离 装置 及其 方法
【主权项】:
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