[发明专利]一种控制平台出板距离的激光直写曝光系统及曝光方法在审
| 申请号： | 201911184118.3 | 申请日： | 2019-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN110850687A | 公开（公告）日： | 2020-02-28 |
| 发明（设计）人： | 肖燕青;袁征;陈海巍;刘世林;曾振军;徐彦文 | 申请（专利权）人： | 江苏影速光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 哈尔滨市阳光惠远知识产权代理有限公司 23211 | 代理人： | 彭素琴 |
| 地址： | 221300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种控制平台出板位置的激光直写曝光系统及曝光方法，属于激光直写曝光技术领域。所述系统根据板材资料输入装置输入的待曝光板材资料计算工件台出板距离，并根据计算出的出板距离控制工件台将待曝光板材运输至相应的曝光位置，以便曝光设备对板材进行曝光，所述板材资料包括待曝光板材的尺寸信息；有效减少了小尺寸板材曝光时出板的无效距离，减少了曝光时间，有效提高了产能。同时未对设备进行大幅改动，方便后续设备维护。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 控制 平台 距离 激光 曝光 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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