[发明专利]一种微尺度激光测量扫描装置有效
| 申请号： | 201911185865.9 | 申请日： | 2019-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN110850659B | 公开（公告）日： | 2023-02-03 |
| 发明（设计）人： | 梁志国;朱振宇 | 申请（专利权）人： | 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所 |
| 主分类号： | G02F1/29 | 分类号： | G02F1/29;G02F1/33;G01D5/26 |
| 代理公司： | 北京正阳理工知识产权代理事务所(普通合伙) 11639 | 代理人： | 张利萍 |
| 地址： | 100095*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开的一种微尺度激光测量扫描装置，属于微纳米测量和光电测量技术领域。本发明包括激光测量仪器、第一λ/2波片、第二λ/2波片、第三λ/2波片、第一偏振分光镜、第二偏振分光镜、第三偏振分光镜、第一透镜、第二透镜、被测目标、第一平面反射镜、第二平面反射镜、第一声光调制器、第二声光调制器、正弦信号源、电子计算机。以声光调制器的光频衍射色散为基础，用频率信号进行位移控制，实现微尺度范围的精确扫描控制，扫描过程中，仅有测量激光束在平移扫描，同时避免机械结构运动，没有机械回程、迟滞、磨损、环境条件漂移等缺陷，能够实现高精度的扫描控制。通过本发明能够将简单的测量激光光束变成具有精确微位移功能的光学扫描探针。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 尺度 激光 测量 扫描 装置 | ||
【主权项】：
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