[发明专利]激光干涉仪及其光学系统、检测方法以及弯沉检测设备有效
申请号: | 201911186358.7 | 申请日: | 2019-11-28 |
公开(公告)号: | CN112857206B | 公开(公告)日: | 2023-04-07 |
发明(设计)人: | 陈汝霞;宋云峰;丁明昊;刘红魏;刘爽;尤凯;宋耀东 | 申请(专利权)人: | 余姚舜宇智能光学技术有限公司 |
主分类号: | G01B9/02056 | 分类号: | G01B9/02056 |
代理公司: | 上海领洋专利代理事务所(普通合伙) 31292 | 代理人: | 罗晓飞 |
地址: | 315408 浙江省宁*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明提供一激光干涉仪及其光学系统、检测方法以及弯沉检测设备,其中所述光学系统包括一分光组件,一光收发装置以及一光干涉组件。所述激光干涉仪包括一激光器、一光学系统、一探测器以及一壳体,其中所述激光器发射一激光,其中所述光学系统基于所述激光器发射的激光干涉得到一干涉光,其中所述探测器被接入至所述光学系统,由所述探测器基于所述干涉光束得到被测物体的探测数据信息,其中所述激光器、所述光学系统以及所述探测器被固定地设置于所述壳体。 | ||
搜索关键词: | 激光 干涉仪 及其 光学系统 检测 方法 以及 设备 | ||
【主权项】:
暂无信息
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