[发明专利]柔性π型射频匹配电路及其制作方法

摘要

本发明属于柔性射频器件领域，为设计并制备一种基于柔性工艺的π型射频匹配电路，采用柔性衬底配合金属沉积工艺，在较为简便的工艺中设计并制备柔性、高集成度、质轻、高性能的π型射频匹配电路，此种匹配网络极大丰富匹配网络在不同领域及不同条件下的应用。为此，本发明采取的技术方案是，柔性π型射频匹配电路及其制作方法，由一个柔性薄膜电感以及两个柔性金属‑介质层‑金属MIM电容接地构成，通过在制作电感的螺旋金属层与电容的顶层电极层掩膜版时预留互连线位置，直接生长金属互连线进行连接，连接关系是所述柔性薄膜电感两端分别经一个所述MIM电容接地。本发明主要应用于柔性射频器件设计制造场合。