[发明专利]使用LED光源对透镜组进行非接触测量的光路及方法有效
| 申请号： | 201911187406.4 | 申请日： | 2019-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN110879042B | 公开（公告）日： | 2020-11-20 |
| 发明（设计）人： | 曹佃生;林冠宇;李炳强;李继峰;赵柄然 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06;G02B27/14 |
| 代理公司： | 长春众邦菁华知识产权代理有限公司 22214 | 代理人： | 王丹阳 |
| 地址： | 130000 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明公开了使用LED光源对透镜组进行非接触测量的光路及方法,包括光源、前端监测光路，探测光路、后端监测光路、测量组件、反射镜，以及被测光学件；测量组件包括在同一光轴上依次设置的准直镜组、滤光片、第四分光立方棱镜、第六分光立方棱镜、第九分光立方棱镜、调焦光路，测量组件形成沿光轴方向的测量光路。本发明实施例提供的光路，通过调整反射镜的位置以改变探测光路中的光程。在反射镜移动过程中，记录探测光路得到的两次峰值信号时的反射镜的位移，得到被测光学件厚度对应的空气间隔；使用宽波段的单色LED光源，同时采用前端监测光路和后端监测光路来对LED光源进行监测，以在降低成本的同时保证测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 led 光源 透镜 进行 接触 测量 方法 | ||
【主权项】：
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