[发明专利]集成电路的导线互连结构在审

专利信息
申请号: 201911188634.3 申请日: 2019-11-28
公开(公告)号: CN112864127A 公开(公告)日: 2021-05-28
发明(设计)人: 许筱妊 申请(专利权)人: 扬智科技股份有限公司
主分类号: H01L23/528 分类号: H01L23/528;H01L23/538
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人: 胡林岭
地址: 中国台湾*** 国省代码: 台湾;71
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摘要: 一种集成电路的互连结构,包括第一、第二与第三布线层和第一、第二与第三导电过孔结构。第一布线层包括横跨第一与第二晶体管的第一与第二导线,且第一导线连接第一晶体管,第二导线连接第二晶体管。第二布线层位于第一布线层上方,其包括垂直第一与第二导线的第三与第四导线。第三布线层位于第二布线层上方,其包括平行第一与第二导线的第五与第六导线,且第五与第六导线分别连接上方的一第一与一第二接触垫。第一导电过孔结构在第一与第二布线层之间,第二导电过孔结构在第二与第三布线层之间。第三导电过孔结构在第三布线层与第一、第二接触垫之间,使第一晶体管透过第一导线电连接至第一接触垫,且第二晶体管透过第二导线电连接至第二接触垫。
搜索关键词: 集成电路 导线 互连 结构
【主权项】:
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