[发明专利]一种柔性可拉伸传感器的制作方法在审
| 申请号： | 201911189465.5 | 申请日： | 2019-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN110987042A | 公开（公告）日： | 2020-04-10 |
| 发明（设计）人： | 董林玺;管臻智 | 申请（专利权）人： | 杭州电子科技大学 |
| 主分类号： | G01D11/00 | 分类号： | G01D11/00 |
| 代理公司： | 浙江千克知识产权代理有限公司 33246 | 代理人： | 周希良 |
| 地址： | 310018 浙江省杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种柔性可拉伸传感器的制作方法。本发明首先通过对硅晶片进行光刻及各向异性蚀刻得到凸台结构的模具。其次，将聚二甲基硅氧烷溶液滴加到硅晶片上，对聚二甲基硅氧烷溶液进行脱气处理后，加热固化后剥离出带有凸台结构的柔性基底。而后，通过对铜片激光直写制作蛇形电路，将蛇形电路转移到柔性基底上作为导线连接敏感区域。最后，将传感器的敏感材料转移或者喷涂到凸台结构表面。本发明通过岛状凸台结构之间的柔性衬底以及蛇形金属导线提供整体拉伸，并通过凸台结构减小凸台表面的拉伸，使得凸台表面的传感器敏感区域基本不受拉伸的影响，在提高传感器拉伸性能的同时又保护传感器敏感材料不会因为拉伸而降低性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 拉伸 传感器 制作方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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