[发明专利]钼铌合金靶材及其制备方法、黑化膜有效
申请号: | 201911190147.0 | 申请日: | 2019-11-28 |
公开(公告)号: | CN111058003B | 公开(公告)日: | 2021-10-08 |
发明(设计)人: | 程银兵;周钧;庄猛;庄志杰 | 申请(专利权)人: | 基迈克材料科技(苏州)有限公司 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34;C22C27/04;C22C32/00;B22F1/00;B22F9/04;B22F3/04;B22F3/15;C23C14/14 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 杜帅 |
地址: | 215200 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明涉及一种钼铌合金靶材及其制备方法、黑化膜。其中,钼铌合金靶材包括如下质量份的原料组分:钼45‑89.1份、铌5‑9.9份以及金属氧化物1‑50份;其中,所述金属氧化物选自氧化铝和氧化锌中的至少一种。上述钼铌合金靶材的原料组分配比合理,在传统的钼铌合金靶材的基础上,添加至少一种上述金属氧化物,经实验验证,经上述钼铌合金靶材最终制得的黑化膜可以减少或消除电子产品表面的反射光,增加透光量,减少杂散光吸收。 | ||
搜索关键词: | 合金 及其 制备 方法 黑化膜 | ||
【主权项】:
暂无信息
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