[发明专利]光束质量测量装置及远场光束质量因子计算方法在审
申请号: | 201911191276.1 | 申请日: | 2019-11-28 |
公开(公告)号: | CN110987173A | 公开(公告)日: | 2020-04-10 |
发明(设计)人: | 李朝辉;赵建科;徐亮;刘峰;张玺斌;毛振 | 申请(专利权)人: | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
主分类号: | G01J1/04 | 分类号: | G01J1/04 |
代理公司: | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人: | 汪海艳 |
地址: | 710119 陕西省西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明属于高能激光光束质量测量领域,涉及一种光束质量测量装置及远场光束质量因子计算方法,克服传统的光束质量测量装置体积大,集成度低、使用繁琐等问题以及计算远场光束质量因子β的方法准确性不高的问题。整个测量装置光路由缩束器,分光镜,会聚镜,近场相机和远场相机组成,缩束器实现对大口径入射光束的缩束;分光镜用来对缩束后的光束进行分光,一路分给近场测试光路,通过连接近场相机进行近场波面测试,一路分给远场光路,通过会聚镜会聚后进入到远场相机实现远场光束质量测量。基于衍射环的远场光束质量因子β的计算方法,摒弃了传统的背景滤除和信号提取方法,具有计算速度快,数据稳定性高,抗噪声能力强的特点。 | ||
搜索关键词: | 光束 质量 测量 装置 因子 计算方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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