[发明专利]探针单元以及测定系统有效
| 申请号： | 201911191667.3 | 申请日： | 2019-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN111238433B | 公开（公告）日： | 2023-09-19 |
| 发明（设计）人： | 古贺聪;斋藤章宪;金森宏之 | 申请（专利权）人： | 株式会社三丰 |
| 主分类号： | G01B21/20 | 分类号： | G01B21/20 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供一种探针单元以及测定系统。在具有测定探针的探针单元中，信号处理电路具备：信号合成部，其对检测元件的输出进行处理并输出将接触部的在互相正交的3个方向中的各个方向上的位移成分进行合成所得到的合成信号；以及信号输出部，其在合成信号满足了阈值条件时，将数字触摸信号输出到探针单元的外部，其中，信号输出部具备将阈值条件与合成信号进行比较的3个比较部，在进行被测定物的测定时，信号输出部输出与第一比较部的输出及第二比较部的输出相应的数字触摸信号。由此，提供一种能够在确保高的抗噪声性的同时稳定地进行高精度的测定的测定探针以及测定系统。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 单元 以及 测定 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社三丰，未经株式会社三丰许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201911191667.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
