[发明专利]一种单加热式湿度传感器及其制作方法在审
| 申请号： | 201911193302.4 | 申请日： | 2019-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN110849944A | 公开（公告）日： | 2020-02-28 |
| 发明（设计）人： | 张倩;边旭明;黄晓杰;彭文武 | 申请（专利权）人： | 北京航天微电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/22 | 分类号： | G01N27/22;H05B6/54 |
| 代理公司： | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人： | 冯瑛琪 |
| 地址： | 100854*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种单加热式湿度传感器，包括：基底，设置于所述湿度传感器的最底层；湿度敏感电容，设置于所述基底上表面，至少包括电容上电极、电容下电极和感湿介质层，所述电容上、下电极以所述感湿介质层为中心上下对称设置；加热电路，至少包括加热电阻；其中，所述加热电阻位于所述基底上表面和所述感湿介质层之间，且环绕所述电容下电极的周边。本发明还进一步公开了一种单加热式述湿度传感器的制作方法。本发明通过将所述加热电阻以环绕包围于所述电容下电极，实现了对湿度敏感电容的快速均匀加热，实现了更低的芯片加热梯度，从而可方便控制和计算加热电阻对湿度敏感电容测量值的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 加热 湿度 传感器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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