[发明专利]一种光学元件调整装置

摘要

本发明涉及曝光设备技术领域，尤其涉及一种光学元件调整装置。该光学元件调整装置包括镜座和第一调节组件，镜座包括从内至外依次设置的镜座内环、镜座外环和镜座本体，镜座内环被配置为固定安装光学元件，镜座内环与镜座外环通过第一柔性铰链连接，以使镜座内环能够相对于镜座外环沿X向移动，镜座外环与镜座本体通过第二柔性铰链连接，以使镜座外环能够相对于镜座本体沿Y向移动以带动镜座内环沿Y向移动，第一调节组件能够沿水平方向移动以驱动镜座内环沿X向、Y向移动，通过镜座内环和镜座外环的配合将X向调整和Y向调整分离开，能够减小X向运动和Y向运动之间的串扰，提高调整精度，且结构简单，成本低。