[发明专利]一种非规则通光孔径反射镜控制边缘效应的组合加工方法有效
| 申请号： | 201911195767.3 | 申请日： | 2019-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN110842658B | 公开（公告）日： | 2021-03-30 |
| 发明（设计）人： | 张海涛;刘钰;王鹍;毕春利;金春水 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | B24B1/00 | 分类号： | B24B1/00 |
| 代理公司： | 长春众邦菁华知识产权代理有限公司 22214 | 代理人： | 朱红玲 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 一种非规则通光孔径反射镜控制边缘效应的组合加工方法，涉及光学加工领域，解决现有光学元件的抛光方法存在适用性差，在在抛光后再过多的去除材料会造成反射镜整体应力的改变，进而影响元件面形等问题，该方法包括反射镜形状和表面铣磨、反射镜表面抛光、再次铣磨反射镜至需要的形状，铣磨需要光透过的区域、采用不产生边缘效应的加工方式去除边缘的翘边四个步骤，在抛光阶段预留了足够的余量，在抛光后又能实现较少的材料去除，保证抛光后反射镜元件变形小，可以有效控制非规则通光孔径反射镜的边缘效应。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 规则 孔径 反射 控制 边缘 效应 组合 加工 方法 | ||
【主权项】：
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