[发明专利]感光性树脂组合物、经图案化的固化膜的制造方法、及经图案化的固化膜在审
| 申请号： | 201911196037.5 | 申请日： | 2019-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN111240156A | 公开（公告）日： | 2020-06-05 |
| 发明（设计）人： | 田所惠典;佐藤梓实;山地晃大;盐田大 | 申请（专利权）人： | 东京应化工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/027 | 分类号： | G03F7/027;G03F7/004 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 杨宏军;唐峥 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的课题在于提供能形成直线行进性及与基板的密合性优异、并且截面的形状良好的经图案化的固化膜的感光性树脂组合物、使用了该感光性树脂组合物的经图案化的固化膜的制造方法、和可利用该制造方法制造的经图案化的固化膜。在包含碱溶性树脂(A)、光聚合性单体(B)、和光聚合引发剂(C)的感光性树脂组合物中，组合使用作为包含经硝基化的咔唑环的特定结构的肟酯化合物的光聚合引发剂(C‑I)、和光聚合引发剂(C‑I)以外的其他光聚合引发剂(C‑II)。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 图案 固化 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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