[发明专利]一种非晶硅太阳能片的真空镀膜装置在审
| 申请号： | 201911196090.5 | 申请日： | 2019-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN110938809A | 公开（公告）日： | 2020-03-31 |
| 发明（设计）人： | 刘亮;姚群;曾劲刚 | 申请（专利权）人： | 湖南旭昱新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 六安市新图匠心专利代理事务所(普通合伙) 34139 | 代理人： | 朱小杰 |
| 地址： | 415100 湖南省常德市鼎城区灌溪镇(常*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种非晶硅太阳能片的真空镀膜装置，属于真空镀膜设备领域。包括真空泵组、真空镀膜腔和加热管，所述加热管布设在所述真空镀膜腔的外围，所述真空镀膜腔上设有真空压力检测器，所述真空泵组连通至所述真空镀膜腔中，所述真空泵组由滑阀泵、罗茨泵与分子泵、分子泵前级泵和大阀组成，所述滑阀泵和罗茨泵依次串联并连接至大阀，所述分子泵前级泵与所述分子泵相互连接，分子泵设置在所述大阀的底部且与大阀相互连通，所述滑阀泵与所述罗茨泵之间设有第一电控阀，所述罗茨泵与大阀之间设有第二电控阀，所述大阀连通至真空镀膜腔。本发明通过真空泵组的交替切换对真空镀膜腔抽取极限真空与极限真空维持，降低了产品的生产成本，提高了产品质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 非晶硅 太阳能 真空镀膜 装置 | ||
【主权项】：
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