[发明专利]具有保护结构层的体声波谐振器、滤波器及电子设备有效
| 申请号： | 201911198282.X | 申请日： | 2019-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN111313860B | 公开（公告）日： | 2023-05-12 |
| 发明（设计）人： | 杨清瑞;庞慰;张孟伦 | 申请（专利权）人： | 天津大学;诺思（天津）微系统有限责任公司 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17;H03H9/02;H03H3/02;H03H9/54 |
| 代理公司： | 北京金诚同达律师事务所 11651 | 代理人： | 汤雄军 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种体声波谐振器，包括：基底；声学镜；底电极；顶电极；压电层，设置在底电极与顶电极之间。由底电极、顶电极与压电层组成的三明治结构与基底上表面之间存在第一间隙，第一间隙使得谐振器的主体谐振结构与基底无接触；保护结构层，具有第一部分与第二部分，第一部分连接到基底的上表面，第二部分的外端与第一部分的内端连接，第二部分沿着压电层延伸到压电层上方且第二部分的至少一部分与压电层在厚度方向上形成第二间隙，第二部分在横向方向上与顶电极间隔开；保护结构层的第二部分沿谐振器的周向方向不连续布置或存在穿过其的通孔。本发明还公开了一种具有该谐振器的滤波器及具有该滤波器或谐振器的电子设备。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 保护 结构 声波 谐振器 滤波器 电子设备 | ||
【主权项】：
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